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清华大学,9003基地,精密仪器实验室。
已经是冬季,外面开始飘着雪花,但是,这实验室内的温度,却一直保持在20摄氏度,甚至,正负都不能超过0.1摄氏度,而且,空气非常洁净,防尘标准100级,也就是1立方米的空气中,浮尘微粒的数量不能超过100!
时间已经到了下午六点钟,穿着白大褂的中年人,依旧还在实验室里工作着,他的面前是一台计算机,计算机的旁边,摆着一个大型设备,右下角的铝制铭牌上,刻着一行小字。
自动对准分步投影光刻机。
没错,这就是后世让东方时时刻刻被西方卡脖子的光刻机,而在这八十年代,东方的光刻机技术,并不比西方差!
叮铃铃……
“喂。”中年人拿起电话:“什么?好,知道了,我这就出去。”
小心翼翼地关闭机器,通过了强力风道过滤通道,中年人来到了外面的办公室,里面,一名老干部已经等在了那里。
“徐教授,这次……唉!”
徐端颐,1955年从贵阳一中毕业之后,以优异的成绩考入了清华大学,1961年在清华精密仪器系毕业后就留校任教。
在那个特殊的时代里,他去了鄱阳湖的农场,接受劳动改造,他原本以为,这辈子就要当农民工了,直至某一天深夜,接到首都的电报,他紧急回首都,才知道,国家的半导体工业和国防工业,急需光刻机!
于是,当时还是助教的他,接下了这个艰巨的任务。
清华大学全力支持,精密仪器系大楼建成之后,大楼一层就装修成了精密光学仪器加工工厂,也就是9003实验基地,系主任沈钊兼任厂长,学校的工程技术队伍都归属他指挥,几百人的研发团队就这样成立了!
光刻机,制造复杂,难度很大,巴统将它列为高端产品,对东方实行技术封锁,在与世隔绝的情况下,徐教授带着团队,从氦氖激光器开始做起,精密导轨、丝杠、滚珠、步进电机、数字控制用的计算机、光学系统、大孔径的投影物镜等等……
经过努力,东方第一台自动光刻机就此诞生!
之后,徐教授再接再厉,继续研制更加先进的分步投影光刻机,简单来说,就是把芯片分成一块块的,每次只光刻一部分,随着加工精度的不断提升,这是必然。
1980年,这种光刻机研发成功,加工的最小线宽达到了0.8微米,可以说,这款光刻机的研发成功,解决了东方芯片工业最大的难题,用十来年不成问题!
要知道,八十年代末期的486处理器,用的也不过是1微米工艺!
但是……
已经升为副校长的沈钊,脸上表情复杂:“咱们亲自过去,找了魔都的无线电厂,他们原本说得好好的,要采购咱们的光刻机,结果……”
“他们宁可要国外的性能更差的产品,也不愿意要我们清华大学的先进光刻机?”徐教授的语气沉重。
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